先進半導体材料メーカーのLa Luce Cristallinaは、0.5マイクロメートル(μm)のシリコンベース量子常誘電体チタン酸ストロンチウム・オン・インシュレーター（QP-STOI）ウエハプラットフォームを発売した。量子コンピューティング、極低温エレクトロニクス、非線形電気光学アーキテクチャをサポートするよう設計されたこのプラットフォームは、デバイス開発者や国立研究機関に対し、液体ヘリウム温度下でのチタン酸ストロンチウム（SrTiO3／STO）の極めて高い誘電率チューナビリティを活用できる、ファウンドリ互換の基板を提供する。
厚い二酸化ケイ素（SiO2）絶縁層の上に構築されたこのプラットフォームは、シリコン上に直接堆積される従来のエピタキシャルSTOバッファ層の100倍の厚さを持つ、バルクに近い高絶縁性のSTO層を特徴とする。極低温での動作温度において、STOは量子常誘電状態へと遷移し、強誘電ドメインの凍結を伴うことなく、印加電場に対して誘電特性が極めて敏感に応答するようになる。この電圧チューナブルな挙動により、精密な位相・周波数制御が可能となり、QPU読み出し用の低ノイズパラメトリック増幅器、チューナブルマイクロ波共振器、電気光学変調器、精密な電気機械式極低温センサーを構築するための材料プラットフォームを提供する。
QP-STOI基板は、CMOSおよび商用半導体ファウンドリとの完全な互換性を備えるよう設計されており、量子ハードウェア開発者は既存の300mmおよび200mm製造ラインにSTOベースのコンポーネントを統合することができる。現在は初期段階のデバイス試作用に2インチフォーマットで提供されているが、La Luce Cristallinaは200mm（8インチ）の商用ウエハへと生産を拡大する計画である。今回のプラットフォーム発売は、商務省による20億ドル規模のCHIPS法量子分野への割り当てやNISTが新たに設立したQuantum Manufacturing Engineering Centerなど、現在進行中の連邦インフラ整備の取り組みと直接的に整合するものである。
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2026年9月9日
