クリプトンガスの記事一覧
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ハードウェア
Cornell大学の研究者、クリプトンガススパッタリングを用いてタンタル量子ビットの堆積温度を200°Cまで低下
コーネル大学の研究チームは、タンタル超伝導量子ビットの製造でアルゴンガスの代わりにクリプトンガスを使うことで、必要な基板温度を400°C超から200°Cまで下げることに成功した。これにより商業用半導体ファウンドリでの量産…