リソグラフィの記事一覧
リソグラフィに関する記事1本を、新しい順に掲載しています。
パートナーシップ・提携
XanaduとASML、超低損失フォトニック量子技術のためのリソグラフィプロセス最適化で提携
フォトニック量子コンピュータ企業Xanaduと半導体リソグラフィ大手ASMLが研究協力に合意しました。シリコン光回路の光伝搬損失を減らすため、微細な側壁の粗さ（LER）を低減する技術に取り組み、量子誤り訂正の実現に必要な…