電子ビームリソグラフィの記事一覧
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ハードウェア
CSIC、バルセロナのIMB-CNMにスペインの量子ナノファブリケーションエリアを開設
スペイン国立研究評議会（CSIC）はバルセロナの研究所内に、量子デバイス試作のためのクリーンルーム施設を開設しました。総額600万ユーロ（688万米ドル）超を投じ、電子ビームリソグラフィなどナノスケールの製造・計測装置を…